OLEDs / 有机电子器件
有机发光二极管(器件)或 OLED 是一种单片固态器件,通常由夹在两个薄膜导电电极之间的一系列有机薄膜组成。当给有机发光二极管通电时,在电场的影响下,电荷载流子(空穴和电子)会从电极迁移到有机薄膜中,直到它们在发射区重新结合形成激子。这些激子或激发态一旦形成,就会通过发光(电致发光)和/或热量弛豫到一个较低的能级。
OLED 面板制造
一个具备完整功能的OLED面板除了需要承载有源发光层的基板外,还需要背板(电子器件)和封装层。封装层严格要求且至关重要,不仅是为了保护纳米级的 OLED 层免受机械损伤,也因为其所用材料对氧气和水分非常敏感。
因此,OLED面板在封装之前,必须严格要求氧气和水分小于 1 ppm的惰性气体条件。随着基板尺寸增大,避免工艺气氛中悬浮粉尘的影响变得愈发重要。偶然沉降在OLED有源层上的颗粒可能造成针孔缺陷,从而影响显示屏的质量、降低制造工艺的总体良率。
在设计良好的系统中,制造工艺仍将 OLED 的封装部分放置惰性洁净室条件中。此类系统不仅达到氧气和水分值 < 1 ppm,而且还达到符合 ISO 14644-1 的 ISO 1级的洁净室条件
目前大多数OLED显示器件通过真空蒸镀工艺制备,采用高精度金属掩膜板(Fine Metal Mask, FMM)来实现图形化。对于较小的基片来说,真空蒸镀工艺是一种相对简单的方法;但当把此工艺应用于大尺寸基片的大规模量产时,就需要极为丰富的设备设计经验。除此之外,该技术的另一个主要缺点是由于大量的材料浪费而导致工艺效率较低。
一些OLED材料可溶于溶剂,因此可以使用印刷工艺(主要是喷墨打印)制备。目前,科研人员正努力建立和优化OLED器件的喷墨打印工艺。如果改工艺路线获得突破,其材料利用率将达到前所未有的水平,从而大大降低制造成本。
近年来,成熟的狭缝涂布 (SDC) 技术在 OLED 材料处理中得到了应用。特别是在需要涂布大面积高度均匀的薄膜时,这种涂布方法优于许多其它涂布技术。在卷对卷(R2R)工艺中,工艺速度是一个重要因素,SDC证明了其多用途性、可重复性和稳定性,这些特点对于研究和制造环境来说非常重要。