Vakuum Beschichtung
MBRAUN entwickelt Beschichtungssysteme für eine Vielzahl von Dünnschichtanwendungen mit einem breiten Spektrum an Optionen und kundenspezifischen Lösungen. Die Beschichtungssysteme bei MBRAUN beinhalten alle wichtigen Verdampfungstechnologien, einschließlich der resistiven thermischen Verdampfung, der temperaturkontrollierten Verdampfung (z.B. organisches Material), der Elektronenstrahlverdampfung mit mehreren Taschenanordnungen, des RF-, DC- oder gepulsten DC-Magnetron-Sputterns sowie des reaktiven RF-Magnetron-Sputterns mit reaktiven Gasen.
PROvap
- Integriertes System der Glovebox
- Kompakte und kostengünstige Lösung
- Einfaches Konfigurationsdesign
- Co-Deposition
- Gleichmäßigkeit bis zu +/-3 % (bei spezifischem Geometriedesign bis zu +/1 %)
- Zwei Standardgrößen: PROvap 4G und PROvap 5G
- Bis zu 8 Depositionsquellen möglich
- Substratgröße bis 100x100 mm oder Durchmesser 100 mm (4") für PROvap 4G
- Substratgröße bis 150x150 mm oder Durchmesser 150 mm (6") für PROvap 5G
Anwendungen
Broschüre
UNIvap
- Eigenständiges System
- Kompakte und kostengünstige Lösung
- Einfaches Konfigurationsdesign
- Co-Deposition ist möglich
- Gleichmäßigkeit bis zu +/-3 % (bei spezifischem Geometriedesign bis zu +/1 %)
- Zwei Standardgrößen: UNIvap 4S und UNIvap 5S
- Bis zu 8 Depositionsquellen möglich
- Substratgröße bis 100x100 mm oder Durchmesser 100 mm (4") für UNIvap 4S
- Substratgröße bis 150x150 mm oder Durchmesser 150 mm (6") für UNIvap 5S
Anwendungen
Broschüre
OPTIvap
- Flexibles, modulares System
- Stand-alone (S) oder Glovebox integriert (G)
- Baustein für Cluster-Tool
- Multi-Substrat-& Multi-Masken-Prozesse
- Standard Einheitlichkeit: +/- 3 % (bei spezifischer Geometriegestaltung bis zu +/1 %)
- Substratgröße bis 150x150 mm oder Durchmesser 150 mm (6") für OPTIvap 4
- Substratgröße bis 200x200 mm oder Durchmesser 280 mm (8") für OPTIvap 6
(nbsp)
Anwendungen:
- Komplexe Multilayer-Bauelemente (OLED,OPV)
- Optische Schichten
- Halbleiter, PV
Anwendungen
Broschüre
MINIPEROvap
Mini-PVD-Kammer 100% speziell für Perowskite
- Kann in bestehende MBRAUN Gloveboxen integriert werden (durch Vorkammer)
- Kompakte Bauweise
- Für Untergründe bis 50x50 mm
- Bis zu 4 Quellen
- Schichtgleichmäßigkeit< +/-5 %
- Wirtschaftliche Lösung
- Kurze Lieferzeit
- Einfaches Nachrüsten in bestehende Gloveboxen
PEROvap
Speziell entwickelt für Perowskites
- Ideales Werkzeug für effiziente Forschung & Entwicklung
- Spezielles Systemdesign
- Spezielle Vorläuferquelle
- Hohe Stabilität bei niedrigen Temperaturen
- Stabiler und definierter Depositionsprozess
- Hochvakuumbedingungen
- Geringes Übersprechen
- Hohe Wiederholgenauigkeit
- Materialverträglichkeit für eine sehr lange Lebensdauer
- Patent angemeldet
