MINIvap은 고품질 기능성 코팅을 위한 모든 필수 기능이 포함된 컴팩트한 디자인의 경제적인 고품질 연구 솔루션입니다. MINIvap은 표준 구성이 통합되어 있어 진공 코팅 기술을 처음 접하는 많은 연구 그룹에게 완벽한 입문용 모델입니다.

기존 엠브라운 글러브박스에 통합 가능(안티챔버를 통해)

• 웨이퍼 기판 기준 50mm x 50mm까지 대응 가능
• 콤팩트한 디자인
• 경제적인 솔루션
• 빠른 납기
• 쉽고 빠른 설치
• 기존 글러브박스에서 쉬운 개조

• 글러브박스 결합 시스템
• 콤팩트한 디자인, 경제적인 솔루션
• 간단한 배열 설계
• 두가지 소스의 동시 증착 가능
• 증착 막 균일도, +/-3 % (특정 형상 설계 시 +/1 %)
• 두가지의 표준 사이즈: PROvap 4G 그리고 PROvap 5G
• 최대 8개의 소스 장착 가능
• PROvap 4G기판 사이즈 최대 100mm x 100mm 또는 직경 100mm (4”)
• PROvap 5G기판 사이즈 최대 150mm x 150mm 또는 직경 150mm (6”)

UNIvap은 진공 조건에서 박막 증착을 위한 연구 개발 도구입니다. 직사각형 모양의 챔버는 추가 소스를 위한 추가 공간과 MINIvap에 비해 옵션 업그레이드를 제공합니다. UNIvap은 진공 코팅 기술을 탐구하는 다음 단계로 나아가려는 많은 연구 그룹에게 완벽한 모델입니다.

• 단독 운영 시스템
• 콤팩트한 디자인, 경제적인 솔루션
• 간단한 배열 설계
• 두가지 소스의 동시 증착 가능
• 증착 막 균일도, +/-3 % (특정 형상 설계 시 +/1 %)
• 두가지의 표준 사이즈: PROvap 4G 그리고 PROvap 5G
• 최대 8개의 소스 장착 가능
• UNIvap 4G기판 사이즈 최대 100mm x 100mm 또는 직경 100mm (4”)
• UNIvap 5G기판 사이즈 최대 150mm x 150mm 또는 직경 150mm (6”)

OPTIvap 시리즈는 현재 증착 도구 시리즈의 최고급 솔루션입니다. 파일럿 규모 생산에 이르는 전문 연구 요구 사항에 맞게 설계된 이 도구는 전 세계 산업 실험실과 최첨단 대학에서 자주 사용됩니다.

• 변형 가능한 모듈라 시스템
• 단독운영(S) 또는 글러브박스 결합(G)
• 클러스터 구축을 위한 연결 블록
• 다중 기판 및 다중 마스크 공정
• 증착 막 균일도, +/-3 % (특정 형상 설계 시 +/1 %)
• OPTIvap 4기판 사이즈 최대 150mm x 150mm 또는 직경 150mm (6”)
• OPTIvap 6기판 사이즈 최대 200mm x 200mm 또는 직경 280mm (8”)

응용분야:

• 복잡한 구조의 다층 박막 디바이스 (OLED, OPV)
• 광학 막 증착
• 반도체, 태양광(PV)

100% 페로브스카이트 용으로 개발된 미니 PVD 챔버

• 안티챔버를 연결하여 기존의 엠브라운 글러브박스와 결합 가능
• 콤팩트한 디자인
• 기판사이즈 50mm x 50mm까지 가능
• 최대 4개의 소스 증착 가능
• 증착 막 균일도 +/-5 % 이하
• 경제적인 솔루션
• 빠른 납기
• 기존 글러브박스에서 쉬운 개조

엠브라운은 기존 진공 증착 시스템을 위해 특별히 설계된 기능 추가와 함께 더 높은 안정성과 효율을 갖춘 고효율 페로브스카이트 태양 전지를 개발하고 제조하기 위한 특허 공정을 제공합니다. 페로브스카이트 연구의 특수 재료를 처리하도록 설계된 기존 OPTIvap 플랫폼에 여러 가지 특별한 업그레이드를 제공하는 PEROvap 설정.

• 효율적인 연구 개발을 위한 이상적인 시스템
• 특별한 시스템 설계
• 특화된 전구체 소스
  
  • 저온에서 높은 안정성
• 안정적인 증착 공정
  
  • 고진공
  • 낮은 간섭(cross-talk)
• 높은 재현성
• 긴 장비 수명을 위한 재료의 호환성
• 특허 출원 중