안티챔버를 통해 기존 엠브라운 글러브박스에 결합하여 사용 가능합니다.

• 웨이퍼 기판 기준 50mm x 50mm까지 대응 가능
• 콤팩트한 디자인
• 경제적인 솔루션
• 빠른 납기
• 쉽고 빠른 설치
• 기존 글러브박스에서 쉬운 개조

• 글러브박스 결합 시스템
• 콤팩트한 디자인, 경제적인 솔루션
• 간단한 배열 설계
• 두가지 소스의 동시 증착 가능
• 증착 막 균일도, +/-3 % (특정 형상 설계 시 +/1 %)
• 두가지의 표준 사이즈: PROvap 4G 그리고 PROvap 5G
• 최대 8개의 소스 장착 가능
• PROvap 4G기판 사이즈 최대 100mm x 100mm 또는 직경 100mm (4”)
• PROvap 5G기판 사이즈 최대 150mm x 150mm 또는 직경 150mm (6”)

• 단독 운영 시스템
• 콤팩트한 디자인, 경제적인 솔루션
• 간단한 배열 설계
• 두가지 소스의 동시 증착 가능
• 증착 막 균일도, +/-3 % (특정 형상 설계 시 +/1 %)
• 두가지의 표준 사이즈: PROvap 4G 그리고 PROvap 5G
• 최대 8개의 소스 장착 가능
• UNIvap 4G기판 사이즈 최대 100mm x 100mm 또는 직경 100mm (4”)
• UNIvap 5G기판 사이즈 최대 150mm x 150mm 또는 직경 150mm (6”)

• 변형 가능한 모듈라 시스템
• 단독운영(S) 또는 글러브박스 결합(G)
• 클러스터 구축을 위한 연결 블록
• 다중 기판 및 다중 마스크 공정
• 증착 막 균일도, +/-3 % (특정 형상 설계 시 +/1 %)
• OPTIvap 4기판 사이즈 최대 150mm x 150mm 또는 직경 150mm (6”)
• OPTIvap 6기판 사이즈 최대 200mm x 200mm 또는 직경 280mm (8”)

응용분야:

• 복잡한 구조의 다층 박막 디바이스 (OLED, OPV)
• 광학 막 증착
• 반도체, 태양광(PV)

100% 페로브스카이트 용으로 개발된 미니 PVD 챔버

• 안티챔버를 연결하여 기존의 엠브라운 글러브박스와 결합 가능
• 콤팩트한 디자인
• 기판사이즈 50mm x 50mm까지 가능
• 최대 4개의 소스 증착 가능
• 증착 막 균일도 +/-5 % 이하
• 경제적인 솔루션
• 빠른 납기
• 기존 글러브박스에서 쉬운 개조

페로브스카이트를 위한 특별한 설계

• 효율적인 연구 개발을 위한 이상적인 시스템
• 특별한 시스템 설계
• 특화된 전구체 소스
  
  • 저온에서 높은 안정성
• 안정적인 증착 공정
  
  • 고진공
  • 낮은 간섭(cross-talk)
• 높은 재현성
• 긴 장비 수명을 위한 재료의 호환성
• 특허 출원 중