Vacuum Coating

• 변형 가능한 모듈라 시스템
• 단독운영(S) 또는 글러브박스 결합(G)
• 클러스터 구축을 위한 연결 블록
• 다중 기판 및 다중 마스크 공정
• 증착 막 균일도, +/-3 % (특정 형상 설계 시 +/1 %)
• OPTIvap 4기판 사이즈 최대 150mm x 150mm 또는 직경 150mm (6”)
• OPTIvap 6기판 사이즈 최대 200mm x 200mm 또는 직경 280mm (8”)

응용분야:

• 복잡한 구조의 다층 박막 디바이스 (OLED, OPV)
• 광학 막 증착
• 반도체, 태양광(PV)