증착기
OPTIvap 시리즈는 현재 증착 도구 시리즈의 최고급 솔루션입니다. 파일럿 규모 생산에 이르는 전문 연구 요구 사항에 맞게 설계된 이 도구는 전 세계 산업 실험실과 최첨단 대학에서 자주 사용됩니다.
- 변형 가능한 모듈라 시스템
- 단독운영(S) 또는 글러브박스 결합(G)
- 클러스터 구축을 위한 연결 블록
- 다중 기판 및 다중 마스크 공정
- 증착 막 균일도, +/-3 % (특정 형상 설계 시 +/1 %)
- OPTIvap 4기판 사이즈 최대 150mm x 150mm 또는 직경 150mm (6”)
- OPTIvap 6기판 사이즈 최대 200mm x 200mm 또는 직경 280mm (8”)
응용분야:
- 복잡한 구조의 다층 박막 디바이스 (OLED, OPV)
- 광학 막 증착
- 반도체, 태양광(PV)
