Vacuum Coating

진공코팅

증착기

100% 페로브스카이트 용으로 개발된 미니 PVD 챔버

  • 안티챔버를 연결하여 기존의 엠브라운 글러브박스와 결합 가능
  • 콤팩트한 디자인
  • 기판사이즈 50mm x 50mm까지 가능
  • 최대 4개의 소스 증착 가능
  • 증착 막 균일도 +/-5 % 이하
  • 경제적인 솔루션
  • 빠른 납기
  • 기존 글러브박스에서 쉬운 개조

Applications

Perovskites

Brochure

MINI PEROvap_BR112_v2.pdf (1.3 MiB)

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